В мембранных вакуумных насосах осуществляется безмасляная откачка газа вследствие изменения объёма, описываемого мембраной. Прогиб мембраны ограничивается краевыми креплениями и ходом толкателя. В небольших мембранных насосах (микронасосах) привод мембраны может осуществляться через шток от кривошипно-шатунного механизма, а в крупных - гидравлическим способом от специального поршневого насоса. Газораспределение - клапанное.

С увеличением прогиба мембраны возрастает объёмная производительность насоса, но снижается долговечность работы. Кроме того, к особеностям мембранных вакуумных насосов можно отнести тихоходность и большую металлоёмкость.

Если необходимо перекачивать химически активные газы или смеси с помощью мембранных вакуумных насосов, то необходимы насосы в химостойком исполнении: на все детали, соприкасающиеся с перекачиваемым газом, нанесено химостойкое покрытие, мембрана выполнена из специального каучука.
Мембранные безмасляные вакуумные насосы компании Ilmvac GmbH компактны, практичны и многофункциональны. Они изготавливаются:
- в различных материалов - для химических и физических процессов;
- с регулироемой или нерегулируемой производительностью;
- со скоростью откачки от 300 до 16'000 л/ч;
- с предельным остаточным давлением от 75 до менее чем 1 мбара.

Благодаря возможности получения с их помощью как низкого, так и глубокого вакуума они находят себе применение в производстве, исследованиях и лабораториях:
- для безмасляного применения в области низкого вакуума;
- откачка растворителей и паров кислот (насосы в химостойком исполнении);
- как экономически более выгодная и более экологичная альтернатива водоструйным насосам;
- для вакуумной фильтрации;
- для вакуумной концентрации;
- для молекулярной дестилляции;
- для сушки под вакуумом.
К их основным преимуществам можно отнести:
- полное отсутствие масла;
- фактическое отсутствие технического обслуживания;
- долгий срок службы;
- малошумная работа;
- многослойная мембрана;
- малые габариты;
- простота в использовании.

Количество ступеней:	2
Производительность (м3/час):	1 м3/час
Конечный вакуум, мбар:	8 мбар
Мощность электродвигателя, КВт:	0,060 КВт
Уровень шума:	42 дБ(А)
Размеры:	235x195x145 мм
Вес:	6,5 кг
Примечание:	Добавочный индекс "С" в названии насоса обозначает химостойкое исполнение.